logo
Sales@xjoptic.com 86-21-59255328
Вичат
Russian
english english français français Deutsch Deutsch Italiano Italiano Русский Русский Español Español português português Nederlandse Nederlandse ελληνικά ελληνικά 日本語 日本語 한국 한국 العربية العربية हिन्दी हिन्दी Türkçe Türkçe indonesia indonesia tiếng Việt tiếng Việt ไทย ไทย বাংলা বাংলা فارسی فارسی polski polski
Sales@xjoptic.com
8613671520516
Вичат
Код QR WeChat
+86 13671520516

Противоположное царапинам сапфирное окно Mohs 9 полупроводниковое оборудование

Качество Противоположное царапинам сапфирное окно Mohs 9 полупроводниковое оборудование Фабрика
Спецификация продукта
Место происхождения: Гуандун, Китай
Название бренда: ECER Optics
Сертификация: ISO 9001:2015
Номер модели: SW-SEM-ЖЕСТКИЙ
Минимальное количество заказа: 10 шт.
Цена: USD 8-50 / Piece
Условия оплаты: Т/Т, ПайПал, западное соединение
Возможность поставки: 30000 штук в месяц
Подробная информация о продукте
Выделить:

Устойчивое к царапинам сапфировое окно

,

Окно полупроводникового оборудования

,

Оптическая твердость Mohs 9
Product Name: Устойчивое к царапинам сапфировое окно
Application: Обработка полупроводниковых пластин
Hardness: Мосс 9
Material: Монокристаллический сапфир Al2O3
Diameter: Пользовательские 10 мм - 200 мм
Chemical Resistance: Устойчивость к кислотам, щелочам и плазме
Surface Quality: 60-40 Скретч-диг
Flatness: Лямбда/4
Описание продукта
Сапфировое окно с защитой от царапин, твердость по Моосу 9, для смотровых окон оборудования для производства полупроводников
Это сапфировое окно с защитой от царапин предназначено для смотровых окон оборудования для производства полупроводников, где технологические камеры подвергают окна воздействию плазмы, абразивных частиц и агрессивных чистящих химикатов. Окно изготовлено из монокристаллического сапфира с твердостью по Моосу 9, уступающей только алмазу, что позволяет ему сохранять чистую оптическую поверхность значительно дольше, чем стеклянные или кварцевые смотровые окна.
Для оборудования для обработки пластин, работающего непрерывно, сапфировое окно с защитой от царапин сокращает время простоя на техническое обслуживание и обеспечивает стабильность изображений при инспекции в течение всего срока службы камеры. Полупроводниковые среды требуют большего, чем просто твердость, поэтому это сапфировое окно также специфицировано для химической стойкости к кислотам, щелочам и плазменным химикатам, а также для термической стабильности при колебаниях температуры в процессе цикла.
Каждое окно отполировано до качества поверхности 60-40 по царапинам и забоинам с плоскостностью лямбда на 4, а края шлифуются и фаскируются для предотвращения концентрации напряжений в монтажном фланце. Доступны индивидуальные диаметры от 10 мм до 200 мм и толщины, соответствующие вакуумным или атмосферным номинальным давлениям, и каждая поставка включает сертификаты на материал и записи о проверке размеров для квалификации оборудования.
Технические характеристики
Название продукта Сапфировое окно с защитой от царапин
Материал Монокристаллический сапфир Al2O3
Твердость Моос 9
Диаметр Индивидуальный 10 мм - 200 мм
Толщина 1,0 мм - 8,0 мм индивидуально
Качество поверхности 60-40 царапин-забоин
Плоскостность Лямбда/4 @ 632,8 нм
Химическая стойкость Стойкость к кислотам, щелочам и плазме
Применение Обработка полупроводниковых пластин
Сертификат Соответствие RoHS, ISO 9001:2015
Ключевые преимущества
  • Твердость по Моосу 9 устойчива к царапинам, вызванным частицами и плазмой
  • Химическая инертность выдерживает агрессивные чистящие химикаты камеры
  • Термическая стабильность выдерживает циклические изменения температуры процесса без разрушения
  • Фаски на шлифованных краях снижают концентрацию напряжений во фланце крепления
  • Длительный срок службы сокращает частоту замены смотровых окон и время простоя
  • Сертификаты на материал поддерживают квалификацию полупроводникового оборудования
  • Индивидуальные размеры соответствуют вакуумным и атмосферным смотровым окнам процесса
  • Стабильная оптическая прозрачность для инспекции пластин через окно
Сапфировое окно с защитой от царапин разработано с учетом реальных условий эксплуатации производства полупроводников: многократные открытия камер, плазменные очистки и потоки абразивных частиц. Полевые данные программ обслуживания оборудования показывают, что сапфировые смотровые окна обычно служат в несколько раз дольше кварцевых в травильных и осадительных установках, что напрямую снижает стоимость владения для операторов фабрик.
Окно также подходит для смежных отраслей, которые имеют схожий профиль жестких условий эксплуатации, включая обработку плоских панелей, производство солнечных элементов и системы вакуумного напыления. Инженеры-конструкторы получают рекомендации по монтажу, включая рекомендуемые допуски на фланцы и уплотнительные материалы, поэтому сапфировое окно с защитой от царапин интегрируется в существующие конструкции смотровых окон без доработки.
Вопросы и ответы о продукте
В: Почему смотровые окна для полупроводников должны быть из сапфира, а не из кварца?
Технологические камеры генерируют плазму, частицы и реактивные химикаты, которые быстро травят и царапают кварцевые смотровые окна, затуманивая оптический путь. Сапфир с твердостью по Моосу 9 гораздо дольше противостоит этому повреждению, а его химическая инертность предотвращает деградацию от чистящих средств. В результате требуется меньше замен смотровых окон и обеспечиваются более стабильные условия инспекции.
В: Какие номинальные давления может выдерживать окно?
Номинальное давление зависит от диаметра, толщины и конструкции крепления. Для типичных смотровых окон диаметром от 25 мм до 100 мм толщины от 2 мм до 8 мм выдерживают вакуум до нескольких бар перепада давления. Мы предоставляем рекомендуемые расчеты толщины для ваших конкретных условий камеры.
В: Можно ли нанести на окно антибликовое покрытие в видимом диапазоне?
Да. Хотя многие смотровые окна для полупроводников используют непокрытый сапфир для максимальной прочности, мы можем нанести прочное антибликовое покрытие для видимых длин волн инспекции, когда требуется более высокая пропускающая способность. Покрытие проверяется на воздействие плазмы и химикатов перед выпуском.
В: Какая документация предоставляется для квалификации оборудования?
Каждая поставка включает сертификаты на сапфировый материал, отчеты о проверке размеров, записи о качестве поверхности и декларации RoHS. Для квалифицированных программ мы также можем предоставить данные испытаний на химическую стойкость на уровне партии и результаты термического циклирования.
Тэги:

Оптический сапфировый купольный объектив из диоксида кремния

Объектив для инфракрасной тепловизионной камеры
связанный Продукты
Свяжитесь с нашими экспертами и получите бесплатную консультацию!

Наша миссия заключается в том, чтобы предложить "высокое качество" и "хорошее обслуживание" и "быструю доставку", чтобы помочь нашим клиентам получить больше прибыли.